نقش حیاتی فن آوری های پاکسازی در ساخت نیمه هادی ها

از آنجایی که فناوری جهانی نیمه هادی ها به تکامل خود ادامه می دهد، تقاضا برای فرآیندهای تولید پیشرفته هرگز بالاتر نبوده است. به ویژه، تاکید بر کیفیت سطح ویفر به طور فزاینده ای سختگیرانه شده است. ناخالصی‌هایی مانند گرد و غبار، مواد آلی و معدنی و یون‌های فلزی که توسط هوا، تماس انسانی، تأسیسات، تجهیزات تولید، معرف‌های شیمیایی و مواد کمکی حمل می‌شوند، می‌توانند به طور قابل‌توجهی بر عملکرد، عملکرد الکتریکی و قابلیت اطمینان تراشه‌های نیمه‌رسانا تأثیر بگذارند. همانطور که انسان ها به طور منظم برای جلوگیری از عفونت های باکتریایی مضر حمام می کنند، ویفرهای در مقیاس نانومتر نیز برای تولید تراشه های بی عیب و نقص نیاز به تمیز کردن دقیق دارند. این پست به فرآیندهای تمیز کردن حیاتی در تولید نیمه هادی ها می پردازد، روندهای نوظهور و تغییر محوری را به سمت تجهیزات نظافت خانگی که توسط شرکت های نوآوری مانند ليزرچين.

آشنایی با تمیز کردن ویفر نیمه هادی

تمیز کردن ویفر نیمه هادی یک فرآیند حیاتی با هدف حذف ناخالصی ها از سطح تراشه از طریق عملیات شیمیایی، گازها یا روش های فیزیکی است. تمیز کردن که بین مراحل مختلف تولید انجام می شود، آلودگی ذرات بسیار ریز، باقی مانده های فلزی، باقی مانده های آلی و موارد دیگر را از بین می برد و ویفر را برای فرآیندهای بعدی آماده می کند. با کوچک شدن اندازه ویژگی ها، نیمه هادی ها به طور فزاینده ای نسبت به آلودگی حساس شده اند. ذرات، قطعات فلزی، مواد آلی، اکسیدهای طبیعی و ناخالصی های ردیابی روی سطح تراشه می توانند منجر به نقص الگو و عملکرد الکتریکی ضعیف شوند. فرآیند تمیز کردن، که اغلب بیش از هر فرآیند دیگری در طول تولید تکرار می شود، بیش از 30٪ از تمام مراحل تولید را تشکیل می دهد و اهمیت آن را نشان می دهد.

فن آوری های تمیز کردن مرطوب و خشک شویی

فن آوری های تمیز کردن نیمه هادی عمدتاً بر اساس محیط تمیز کننده مورد استفاده به تمیز کردن مرطوب و خشک تقسیم می شوند. تمیز کردن مرطوب، شامل محلول های شیمیایی خاص و آب دیونیزه شده، روش غالب است که برای رویکرد بدون آسیب آن برای حذف ذرات، اکسیدها، فلزات و سایر آلاینده ها به کار می رود. همچنین ممکن است امواج مافوق صوت، گرمایش، و تکنیک‌های خلاء را برای اثربخشی افزایش دهد. از سوی دیگر، تکنیک‌های خشک‌شویی، از جمله تمیز کردن پلاسما، تمیز کردن سیال فوق بحرانی، و تمیز کردن پرتو، گزینش پذیری بالایی را برای لایه‌های نازک مختلف ارائه می‌دهند، اما در محدوده آلاینده‌هایی که می‌توانند به آن رسیدگی کنند، محدود هستند. به ویژه، تمیز کردن لیزر ماشین‌ها که نشان‌دهنده یک فناوری پیشرفته تمیز کردن خشک هستند، به طور فزاینده‌ای به دلیل دقت و مزایای زیست‌محیطی خود شناخته می‌شوند. صنعت تولید نیمه هادی ها در درجه اول به تمیز کردن مرطوب متکی است، با مراحل خاصی که از ترکیبی از روش های مرطوب و خشک برای بهینه سازی نتایج تمیز کردن استفاده می کند.

تمیز کردن دسته ای در مقابل تک ویفر

چشم انداز تجهیزات نظافت شامل ماشین های تمیز کننده تک ویفر و سیستم های تمیز کننده دسته ای است که هر کدام دارای مزایای خود هستند. تمیز کردن دسته ای ویفرها را در محلول های شیمیایی یا آب فوق خالص غوطه ور می کند و چندین ویفر را به طور همزمان برای توان عملیاتی بالا پردازش می کند. با این حال، این روش خطر بیشتری برای آلودگی متقابل دارد. در مقابل، تمیز کردن تک ویفر، ویفرهای منفرد را با جت های مایع یا گاز هدف قرار می دهد، آسیب مواد و آلودگی متقابل را به حداقل می رساند و در عین حال قابلیت اطمینان ویفر را افزایش می دهد. اگرچه تمیز کردن تک ویفر دارای نتایج با کیفیت بالاتری است، توان عملیاتی کمتر و هزینه‌های بالاتر آن معایب قابل‌توجهی است. با پیشرفت فرآیندهای نیمه هادی، تغییر به سمت تمیز کردن ویفر تکی به دلیل کنترل آلودگی برتر آن آشکارتر می شود.

تغییر به سمت پاکسازی سازگار با محیط زیست و پیشرفت خانگی

در میان قوانین رو به رشد زیست محیطی و اهداف کربن دوگانه، صنعت نیمه هادی ها به سمت راه حل های تمیز کردن پایدارتر حرکت می کند. نوآوری‌هایی مانند ماشین‌های تمیزکننده لیزر، تمیز کردن یخ خشک، و حذف پلاسما، حذف موثر آلاینده‌ها را بدون ترشحات شیمیایی مضر، همراستا با شیوه‌های تولید سازگار با محیط زیست، ارائه می‌کنند. علاوه بر این، فشار برای تولید داخلی تجهیزات تمیز کردن نیمه هادی در حال افزایش است. شرکت‌هایی مانند این در خط مقدم هستند و راه‌حل‌های تمیزکننده قدرتمند و تولید داخل را توسعه می‌دهند که نیازهای در حال تحول صنعت را برآورده می‌کند و در عین حال اتکا به تامین‌کنندگان بین‌المللی را کاهش می‌دهد.

نتیجه

فرآیند تولید نیمه هادی به طور پیچیده به فن آوری های تمیز کردن پیچیده برای اطمینان از بازده بالا و عملکرد قابل اعتماد تراشه وابسته است. با پیشرفت صنعت، تقاضا برای راه حل های تمیزکننده پیشرفته و سازگار با محیط زیست، مانند دستگاه های تمیز کننده لیزری، همچنان در حال افزایش است. با وجود شرکت‌های داخلی مانند پیشرو، آینده تجهیزات تمیز کردن لیزر نیمه‌هادی امیدوارکننده به نظر می‌رسد که نوآوری، پایداری و پیشرفت داخلی را در هم می‌آمیزد تا استانداردهای دقیق این بخش را برآورده کند.

برای راه حل های لیزر تماس بگیرید

با بیش از دو دهه تخصص در لیزر و طیف وسیعی از محصولات شامل اجزای جداگانه تا ماشین آلات کامل، شریک نهایی شما برای رفع تمام نیازهای مرتبط با لیزر شما است.